石墨舟表面粗糙度对镀膜有(yǒu)影响吗？

通过厂家对石墨舟清洗配方实验对比对镀膜均匀性的影响，得出数据显示适当增加酸洗、水洗时间，利于镀膜均匀性的改善，显微镜观察，不同的清洗配方对石墨舟表面的微观形貌会有(yǒu)一定的差异化，主要區(qū)别在于肉眼无法观察的一些细小(xiǎo)氮化硅颗粒物(wù)的残留导致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差异在3D显微镜状态下测试的氮化硅残留區(qū)域与非氮化硅残留區(qū)域微观形貌及粗糙度，数据显示氮化硅残留區(qū)域，粗糙度整體(tǐ)均值Sa 為(wèi)3，5um明显高于正常區(qū)域粗糙度Sa為(wèi)2，8um且氮化硅与石墨舟本身导電(diàn)性存在较大差异性。进而对镀膜均匀性存在一定的影响。

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