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污染类型 | 易污染对象 | 污染原因 | 备注 |
膜后不可(kě)去小(xiǎo)白点 | 镀膜前wafer | 少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能(néng)渡到wafer表面,造成小(xiǎo)白点。 | 产生不良片 |
氮气不清洁(没装氮气过滤器),吹出白色微小(xiǎo)颗粒。 | 产生不良片 | ||
膜后可(kě)去掉小(xiǎo)白点 | 膜后wafer | 氮气不清洁,吹出白色颗粒(可(kě)吹掉),膜后附着到wafer上。 | 可(kě)吹掉,产生一定量不良片 |
膜后微颗粒附着到wafer上(可(kě)吹掉), | 可(kě)吹掉,产生量少不良片 | ||
白色,灰白色雾状附着物(wù) | 气流片(wafer) | 特气管道残遇硅烷(浓度很(hěn)低),随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。 | 污染石墨舟(一般為(wèi)白色,或者灰白色),产生大量不良片。 |
土灰色雪(xuě)花(huā)状漂浮物(wù) | 石墨舟,wafer | 硅烷羊角阀,流量计有(yǒu)漏(浓度较低),直接在炉门口燃烧,产生白色,灰色粉尘。 | 污染石墨舟,炉管,产生大量不良片。 |
污染类型 | 解决措施 | 预防措施 |
膜后不可(kě)去小(xiǎo)白点 | 清理(lǐ)特气孔,吹扫特气管道 | 制作吹扫工艺,定期进行吹扫工艺;洁净,炉管及进出舟环境。 |
吹扫氮气管道,跟换,安装氮气滤芯。 | 購(gòu)买氮气滤芯,定期更换氮气滤芯 | |
膜后可(kě)去掉小(xiǎo)白点 | 吹扫氮气管道,清理(lǐ),跟换,安装氮气滤芯。 | 購(gòu)买氮气滤芯,定期更换氮气滤芯 |
清理(lǐ)特气孔,吹扫特气管道。 | 协助工艺去部掉出炉管15slm N2。洁净,进出舟环境。 | |
白色,黄色 | 发现有(yǒu)异常,及时停止制程,立即测试硅烷羊角阀,流量计,发现有(yǒu)漏。及时跟换羊角阀流量计。 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
雪(xuě)花(huā)状漂浮物(wù) | 发现有(yǒu)异常,及时停止制程,立即排查,流量计,羊角阀。如果 | 发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。 |
本文(wén)出自深圳市石金科(kē)技股份有(yǒu)限公司,公司是集销售、应用(yòng)开发,产品加工的石墨专业厂家,专门為(wèi)模具行业、机械行业、真空热处理(lǐ)炉、電(diàn)子半导體(tǐ)及太阳能(néng)光伏(石墨舟)产业等提供石墨材料、石墨電(diàn)极和相关的石墨制品,欢迎致電(diàn)13662687390