膜后不可(kě)去小(xiǎo)白点

镀膜前wafer

少量微颗粒膜前附着到wafer上。镀膜时SIN层没能(néng)渡到wafer表面，造成小(xiǎo)白点。

产生不良片

膜后可(kě)去掉小(xiǎo)白点

膜后wafer

氮气不清洁，吹出白色颗粒（可(kě)吹掉），膜后附着到wafer上。

可(kě)吹掉，产生一定量不良片

白色，灰白色雾状附着物(wù)

气流片（wafer）
 石墨舟

特气管道残遇硅烷（浓度很(hěn)低），随氮气冲出。在石墨舟出来的过程中造成明显的气流痕迹。

污染石墨舟（一般為(wèi)白色，或者灰白色），产生大量不良片。

膜后不可(kě)去小(xiǎo)白点

清理(lǐ)特气孔，吹扫特气管道

制作吹扫工艺，定期进行吹扫工艺；洁净，炉管及进出舟环境。

膜后可(kě)去掉小(xiǎo)白点

吹扫氮气管道，清理(lǐ)，跟换，安装氮气滤芯。

購(gòu)买氮气滤芯，定期更换氮气滤芯

白色，黄色
 雾状附着物(wù)，
 气流片，白舟

发现有(yǒu)异常，及时停止制程，立即测试硅烷羊角阀，流量计，发现有(yǒu)漏。及时跟换羊角阀流量计。

发现类似情况及时停止工艺制程。更换相应备件。
 購(gòu)买羊角阀，3slm流量计备品，备件，减少石墨舟的污染