石墨舟wafer污染可(kě)分(fēn)哪几种

　石墨舟污染分(fēn)析及分(fēn)类：

　　1.正常情况下，硅烷氨气，在高温，高频光辉放電(diàn)的作用(yòng)下会生成一层较清洁干净，不可(kě)擦掉的氮化硅生成物(wù)，附着在炉壁上。随着镀膜次数的增加，炉壁的SIN层越厚。

　　2.在真空及气流的作用(yòng)下会产生流沙一样的土黄色的SIN小(xiǎo)颗粒。沉积到特气孔法兰内，或分(fēn)布于炉管的底部，及炉壁上。

　　3.由于氮气不清洁（没有(yǒu)安装氮气过滤器），在氮气管壁有(yǒu)白色颗粒，在充氮气回压时随氮气到炉管，附着到wafer或许石墨舟上，形成小(xiǎo)白点。

　　4.在工艺制程结束后特气管道吹扫不干净（流量计异常），有(yǒu)浓度较低的硅烷。在出石墨舟过程中随氮气冲出，在特气孔周围遇氧燃烧产生白色或许淡黄色的氧化硅雾状附着物(wù)。

　　5.最严重的是硅烷羊角阀，或用(yòng)流量计有(yǒu)漏，在冲N2时由于控制不好，会有(yǒu)浓度相对较高的SIH4漏出,在特气孔处遇氧产生明火。燃烧产生的土灰色雪(xuě)花(huā)状漂浮物(wù)，会污染整个炉管，和石墨舟及舟内wafer上。

　　根据以上分(fēn)析炉管粉尘污染大致分(fēn)為(wèi)如下几类：

　　1.石墨舟舟片上淡黄色微颗粒；

　　2.石墨舟舟片上可(kě)去掉，或不可(kě)去掉小(xiǎo)白点；

　　3.石墨舟舟片上黄色或者白色雾状附着物(wù)（称為(wèi)气流异常）；

　　4.石墨舟舟片上雪(xuě)花(huā)状漂浮物(wù)；

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