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太阳能(néng)電(diàn)池片(镀膜)PECVD石墨舟的作用(yòng)是什么?

发布时间:2020-10-21 点击次数:14658

石墨舟作為(wèi)镀膜工艺生产时正常硅片的我载體(tǐ),结构中有(yǒu)很(hěn)多(duō)具有(yǒu)一定间隔的舟片,而在两个相邻舟片之间有(yǒu)一个距离很(hěn)窄的空间,空门两侧则放置硅片。

因石墨舟的材料石墨具有(yǒu)良好的导電(diàn)和导热性能(néng),在两个相邻舟片间通交流電(diàn)压,使得两个相邻舟片形成正负极,当在腔室中有(yǒu)一定的气压和气體(tǐ)时,在两个舟片之间就发生辉光放電(diàn),辉光放電(diàn)可(kě)分(fēn)解空间中的引SiH4和NH3气體(tǐ),形成Si和N的离子,相结合形成SiNx分(fēn)子,沉积在硅片表面,达到其镀膜目的。


石墨舟作為(wèi)太阳能(néng)電(diàn)池片镀减反射膜时的一种载體(tǐ),其结构和大小(xiǎo)直接影响硅片的转化效率和生产效率,经过多(duō)年的技术研究和发展,我司现拥有(yǒu)先进的生产设备、技术成熟的设计人员和经验丰富的生产员工,且材料均為(wèi)进口原料,目前我司所制造的石墨舟具有(yǒu)结构简单、石墨舟片距离合理(lǐ),使得硅片的镀膜均匀、提高硅片的品质,使得太阳能(néng)转化效率高。石金公司有(yǒu)现在市场需要的所有(yǒu)类型石墨舟

石墨舟


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