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石墨舟清洗
1.新(xīn)舟在第一次使用(yòng)前建议使用(yòng)去离子水+10%(體(tǐ)积比)的氢氟酸进行清洗约3~5小(xiǎo)时;再用(yòng)去离子水进行漂洗8~12小(xiǎo)时;直到确认舟體(tǐ)没有(yǒu)酸性成分(fēn),可(kě)在漂洗后用(yòng)PH试纸测试用(yòng)过的水或洗过的舟,以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。
2.使用(yòng)后石墨舟的清洗:一般的石墨舟一般在使用(yòng)100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用(yòng)浓度15-25%的氢氟酸溶液,分(fēn)三轮次来清洗,每次4-5小(xiǎo)时,并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡,加半小(xiǎo)时左右的清洗;注意:鼓泡不建议直接使用(yòng)空气作為(wèi)气源。酸洗后用(yòng)纯水漂洗10小(xiǎo)时左右,并确认舟已经彻底清洗干净,请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有(yǒu)氮化硅的残余。然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项:
A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物(wù)质并有(yǒu)一定的挥发性,对操作人员有(yǒu)一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护,并进行专人管理(lǐ)。
B)建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗,这样能(néng)将各个接触部位清洗的更彻底。目前國(guó)内很(hěn)多(duō)厂家采用(yòng)整體(tǐ)清洗,虽然方便,但由于氢氟酸对陶瓷部件有(yǒu)一定的腐蚀性,整體(tǐ)清洗会缩短相应部件的使用(yòng)寿命。
石墨舟烘干
1.建议使用(yòng)有(yǒu)定时功能(néng)和循环排风的烘干箱,这样烘烤的水蒸气可(kě)直接被抽掉,以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间,确保舟表面没有(yǒu)水滴或水痕,再放进烘干箱。请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。
3.将烘干箱温度设定在100-120摄氏度,运行和保持时间為(wèi)10-12小(xiǎo)时,可(kě)结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
石墨舟预处理(lǐ)(饱和)
1.进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理(lǐ)(饱和)正常时间在200-240分(fēn)钟;随着石墨舟清洗次数的增多(duō)及时间的增加,其饱和时间需要相应延長(cháng)。
2.建议不在空舟状态下进行预处理(lǐ),最好装上假片或废片;虽然操作程序较長(cháng),但可(kě)缩短预处理(lǐ)时间,并可(kě)延長(cháng)舟的使用(yòng)寿命。
石墨舟的维护
1.石墨舟的存放:石墨舟应存放在干燥清洁的环境中。由于石墨本身的孔隙结构而使其具有(yǒu)一定的吸附性,潮湿或污染的环境会使的清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。
2.石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质,在搬运或使用(yòng)过程中应尽量避免碰擦;若发现组件有(yǒu)断裂、裂纹、松脱等现象应及时予以更换和重新(xīn)锁紧。
3.石墨工艺卡点更换:根据使用(yòng)频率及时间,以及電(diàn)池片实际阴影面积的要求,应对石墨舟工艺点进行周期性更换。推荐使用(yòng)石金科(kē)技提供的专用(yòng)更换卡点设备进行拆卸及安装。该设备的操作有(yǒu)利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片破损的风险。
4.建议对石墨舟进行编号管理(lǐ),指定和定期的清洗、烘干、维护、检查。并指定专人管理(lǐ);保持石墨舟的管理(lǐ)及使用(yòng)的稳定性。整體(tǐ)清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。
本文(wén)出自深圳市石金科(kē)技股份有(yǒu)限公司,公司是集销售、应用(yòng)开发,产品加工的石墨专业厂家,专门為(wèi)模具行业、机械行业、真空热处理(lǐ)炉、電(diàn)子半导體(tǐ)及太阳能(néng)光伏产业等提供石墨材料、石墨電(diàn)极和相关的石墨制品,欢迎致電(diàn)13662687390