石墨材料在多(duō)晶硅铸锭炉中的应用(yòng)

多(duō)晶硅铸锭炉中，多(duō)个组件是需要石墨材料。特别是加热器中使用(yòng)的加热材料- 高纯石墨，以及加热器中使用(yòng)的隔热材料- 高纯碳毡隔热材料， 是目前重要的配套材料。 

﹙1﹚ 加热器中使用(yòng)的加热材料- 高纯石墨材料（多(duō)晶硅铸锭炉热场石墨加热器）在多(duō)晶硅铸锭炉设计上， 為(wèi)使硅料熔融， 必须采用(yòng)合适的加热方式。 从加热的效果 而言，感应加热和辐射加热均可(kě)以达到所需的温度。 一般多(duō)采用(yòng)辐射加热方式。 它可(kě)以 对结晶过程的热量传递进行精确控制，易于在坩埚内部形成垂直的温度梯度。  加热器的加热能(néng)力必须超过 1650℃，同时其材料不能(néng)与硅料反应，不对硅料造成 污染，能(néng)在真空及惰性气氛中長(cháng)期使用(yòng)。 符合使用(yòng)条件可(kě)供选择的加热器有(yǒu)金属钨、 钼 和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵，加工困难，而石墨来源广泛，可(kě)加工成各种形 状。另外，石墨具有(yǒu)热惯性小(xiǎo)、可(kě)以快速加热，耐高温、耐热冲击性好，辐射面积大、 加热效率高、且基本性能(néng)稳定等特点。  

﹙2﹚ 加热器中使用(yòng)的隔热材料- 高纯碳毡隔热材料  对于铸锭工艺而言， 為(wèi)了提高生产效率， 要求设备的升温速度尽可(kě)能(néng)快； 由于采用(yòng) 真空工艺， 要求炉内材料的放气量应尽可(kě)能(néng)少， 缩短真空排气的时间； 同时硅料中温度 梯度的形成还需要隔热层的精确提升实现， 隔热层的质量要尽可(kě)能(néng)轻， 以减少升降时的 惯性而影响控制精度。 综上所述对于隔热材料的选择要求是： 耐高温、密度低、导热小(xiǎo)、 蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小(xiǎo)，在众多(duō)的耐火保温材料中， 以高纯碳毡最為(wèi)理(lǐ)想。

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