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電(diàn)子烧结石墨模具的优点有(yǒu)哪些

发布时间:2019-06-19 点击次数:3323

金刚石工具制造所用(yòng)石墨模具材料,主要為(wèi)超细颗粒结构、高纯度和高石墨化度的石墨材料,要求其平均粒径小(xiǎo)于15μm,甚至10μm以下,中等气孔尺寸小(xiǎo)于2μm。用(yòng)此炭素原料做成的石墨模,气孔率小(xiǎo)、结构致密、表面光洁度高、抗氧化性较强等优点,平均使用(yòng)寿命可(kě)达30~40次。

利用(yòng)人造石墨材料热变形极小(xiǎo)的特点,可(kě)制造晶體(tǐ)管的電(diàn)子烧结石墨模具和支架,现已广泛使用(yòng),它已成為(wèi)发展半导體(tǐ)工业不可(kě)缺少的材料。

热压烧结金刚石工具用(yòng)電(diàn)子烧结石墨模具,在金刚石工具制造过程中担负着发热元件和模具支撑的双重作用(yòng),石墨模具质量的优劣,直接影响到金刚石工具的尺寸精度、外观形状等。

此外,石墨模具也使用(yòng)于铸铁用(yòng)的铸型,各种有(yǒu)色金属用(yòng)的耐久性铸模,铸钢用(yòng)铸型,耐热金属(钛,锆,钼等)用(yòng)的铸型及焊钢轨用(yòng)的铝热焊型的铸型等。

热压烧结工艺要求:温度达到(1000±2)℃,成型压力16~50MPa,保温保压时间為(wèi)15~30min,环境為(wèi)非真空状态。在此工况条件下,既要求成型及发热元件的烧结石墨模具具有(yǒu)导電(diàn)性、较高的電(diàn)阻率、足够的机械强度,还需要其具有(yǒu)良好的抗氧化性能(néng)和较長(cháng)的使用(yòng)寿命,以确保金刚石工具的尺寸精度和优异性能(néng)。

金刚石模具要求材质硬度高,抗氧化性能(néng)好,加工精度高等特点,采用(yòng)优质石墨原材料大大延長(cháng)了模具使用(yòng)寿命和提高了抗氧化性能(néng)。


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