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電(diàn)子半导體(tǐ)石墨制品应用(yòng)

发布时间：2019-06-25

作為(wèi)低原子序数材料，对离子、等离子具有(yǒu)较强的抗轰击能(néng)力，纯度高没有(yǒu)金属离子不会对半导體(tǐ)产生污染。用(yòng)于等离子cvd用(yòng)部件等离子cvd用(yòng)感受器、電(diàn)极室、喷嘴、内衬、溅射用(yòng)電(diàn)极、mo

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