PERC管式镀膜石墨舟污染异常解决方案
发布时间:2020-06-29 点击次数:3928
管式镀膜在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,增强光的吸收与钝化作用(yòng),镀膜故障部分(fēn)存在解决时间比较長(cháng),分(fēn)析困难的情况,本文(wén)将介绍管式镀膜舟污染异常情况,期待与您共同进步。
1.1 管式镀膜5管膜后硅片折射率异常,现场石墨舟被污染,怀疑硅烷流量计实际流量大。
![PERC 210大型石墨舟 PERC 210大型石墨舟](static/picture/1593396061924504.jpg)
2.1 检查5管的整管的真空情况,漏气保压情况均无异常,但通过现场污染情况以及折射率,流量计控制异常可(kě)能(néng)性较大;
a. 手动测试现用(yòng)的硅烷流量无异常,怀疑硅烷流量计实际值与显示值偏大。b. 更换返修的硅烷流量计,手动测试流量计无异常,但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常,并且蝶阀的开度在工艺步下一舟的开度比前一舟的大。c. 再次更换新(xīn)的硅烷流量计,氦检真空管路未发现异常,手动测试流量计无异常,但在做正常工艺2-3舟后出现膜后片子折射率异常,再次测试硅烷流量计发现同样500sccm的流量,5管的压力值比其他(tā)管明显上升。a. 调低硅烷流量,怀疑NH3流量计异常,导致实际NH3流量低造成硅烷无法完全反应造成。b. 更换返修的氨气流量计,手动测试氨气流量、压力都正常,但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常。c. 再次测试氨气流量计发现氨气流量控制不稳,再次更换氨气流量计,手动测试氨气流量、压力都正常。d. 但在做2-3舟正常工艺后仍出现膜后片子折射率异常且蝶阀开度不断增大,手动测试氨气流量、压力都正常,排除氨气流量计异常。2.4 怀疑主抽内部漏气、真空不足造成,验证无异常;a. 更换主抽,怀疑可(kě)能(néng)真空泵抽真空能(néng)力不足造成,更换返修的真空泵,测试无效。b. 与正常的工艺炉管对调主抽、蝶阀、预抽、压力计、真空泵,正常工艺2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。c. 通过对调排除了主抽、蝶阀、预抽、压力计、真空泵。
2.5 怀疑DPC控制箱、流量计控制信号線(xiàn)异常,验证无异常;a. 与正常管对调 DPC整个控制箱、硅烷流量计控制線(xiàn)。c. 但做正常工艺,做2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。d. 通过对调排除了DPC控制箱内的控制板,硅烷流量计控制線(xiàn)。
c. 做正常工艺,但做2-3舟后仍出现膜后片子折射率异常。a. 為(wèi)测试排除其他(tā)因素影响,重新(xīn)更换3个新(xīn)的控制硅烷流量计的气动阀。b. 拆除硅烷手阀以后的管路,发现硅烷流量计进气管道的一节有(yǒu)很(hěn)薄的一层氧化物(wù)。c. 用(yòng)气枪吹扫管路,酒精浸泡管路并用(yòng)布擦拭管路内部,清理(lǐ)内部脏污。d. 為(wèi)避免流量计被脏污颗粒再次污染,更换新(xīn)的硅烷流量计;f. 做正常工艺,膜后片子折射率无异常,工艺恢复正常。
3. 结论总结
3.1针对此次异常故障,存在重复排查情况,硅烷流量计重复更换多(duō)次,耗费时间较長(cháng);
3.2测试过程中的流量计在初次测试过程中无异常,但在每次试做2-3个工艺循环后出现问题,问题来源管道脏污的关系较大,后期可(kě)作為(wèi)流量异常的参考;
3.3如果故障一时无法判断,可(kě)采取利用(yòng)排除方法进行硬件更换,来缩小(xiǎo)排查范围,提高问题处理(lǐ)效率;
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