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1应用(yòng)市场发展扩大的过程
半导體(tǐ)的发展与石墨材料在半导體(tǐ)工业中的应用(yòng)是分(fēn)不开的。在半导體(tǐ)工业中,直拉单晶炉的加热系统大量采用(yòng)高纯石墨材料。还在半导體(tǐ)硅片加工(包括區(qū)熔、外延、外形加工等)中作為(wèi)辅助工具、部件;在半导體(tǐ)硅片用(yòng)多(duō)晶硅材料的生产中為(wèi)辅助工具、部件。電(diàn)子工程用(yòng)石墨制品,首先是实现在半导體(tǐ)工业中得到应用(yòng)。进入21世纪,光伏产业得到了迅速的发展,太阳能(néng)電(diàn)池用(yòng)多(duō)晶硅锭材料在产量与市场上都出现了突飞猛进的增大,这也给石墨制品在光伏产业领域提供了一个发展前景广阔的新(xīn)市场。太阳能(néng)電(diàn)池硅片所需要的重要原材料铸锭多(duō)晶硅,在其生产装置铸锭炉中开始大量的采用(yòng)高纯、优质的石墨材料。
1.1石墨制品的半导體(tǐ)应用(yòng)市场概况
直拉单晶炉内使用(yòng)的石墨部件是一类易耗件,它由各种高纯石墨加工而成。例如其中的石墨坩埚及其他(tā)石墨部件采用(yòng)了高纯细颗粒结构石墨;石墨加热器采用(yòng)了高纯各向同性石墨;石墨保温罩和石墨盖板采用(yòng)高纯中颗粒结构的石墨。
1.2石墨制品的太阳電(diàn)池应用(yòng)市场概况
在生产铸锭多(duō)晶硅设备上,多(duō)个组件是需要石墨材料。特别是铸锭炉加热器中使用(yòng)的加热材料----高纯石墨,以及所用(yòng)的隔热材料---高纯碳毡隔热材料,都是目前铸锭多(duō)晶硅设备重要的、必不可(kě)少的配套材料。
由于铸锭炉加热器的加热温度很(hěn)高(超过1600℃),它的加热材料又(yòu)要求不能(néng)与硅料反应、不对硅料造成污染,可(kě)長(cháng)期在真空及惰性气氛中使用(yòng)。符合使用(yòng)条件可(kě)供选择的加热器有(yǒu)金属钨、钼和非金属石墨等。由于钨、钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可(kě)加工成各种形状。另外,石墨具有(yǒu)热惯性小(xiǎo)、可(kě)以快速加热,耐高温、耐热冲击性好,辐射面积大、加热效率高、且基本性能(néng)稳定等特点。正因為(wèi)如此,石墨材料已成為(wèi)了铸锭炉加热器中首选的加热材料。铸锭炉加热器对于隔热材料有(yǒu)着严格的要求。它必须是耐高温、密度低、导热小(xiǎo)、蓄热量少、隔热效果好、放气量少、重量轻、膨胀系数小(xiǎo)的材料。因此在众多(duō)的耐火保温材料中以高纯碳毡最為(wèi)理(lǐ)想。
上述所举例的两类在半导體(tǐ)、光伏产业领域应用(yòng)的石墨制品,几年前还是主要是由國(guó)外全部进口(或者是由我國(guó)内地的外资企业提供)。但由于我國(guó)石墨行业、半导體(tǐ)材料行业、電(diàn)子工业设备行业的共同努力,我國(guó)自行生产(深圳市石金科(kē)技股份有(yǒu)限公司)的这两类石墨配套无论在制造技术上,还是在应用(yòng)技术上都取得了巨大的进步,市场的格局也得到了很(hěn)大的改变。这也给我國(guó)石墨行业在此方面开拓新(xīn)市场提供了新(xīn)机遇。但同时也需要看到,在我國(guó)大规格、高纯各向同性石墨的市场在迅速增大的同时,我國(guó)在此方面的制造技术仍有(yǒu)不适应的方面,技术仍与國(guó)外先进國(guó)家有(yǒu)很(hěn)大的差距。石墨制品作為(wèi)微電(diàn)子、光伏产业的重要基础装备材料,需要我國(guó)國(guó)内不断在技术获得进步,与半导體(tǐ)行业、光伏電(diàn)池用(yòng)硅材料制造行业加强合作,进一步投资发展為(wèi)其配套的高档石墨制品,是一件势在必行的重要工作。
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