真空烧结炉遇到以下三种情况可(kě)采取的应急措施！

真空烧结炉主要用(yòng)于半导體(tǐ)元器件及電(diàn)力整流器件的烧结工艺，可(kě)进行真空烧结，气體(tǐ)保护烧结及常规烧结，是半导體(tǐ)专用(yòng)设备系列中一种新(xīn)颖的工艺装备，它设计构思新(xīn)颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可(kě)完成多(duō)个工艺流程。亦可(kě)用(yòng)于其他(tā)领域内的真空热处理(lǐ)，真空钎焊等工艺。接着跟俺一起看看真空烧结炉遇到以下三种情况可(kě)以采取的应急措施。

一、停電(diàn)  

1、停電(diàn)时，如果断水，应立即接通备用(yòng)的冷却水，接通水源。  

2、如果在非升温、加热和冷却时，能(néng)够尽快恢复时，重新(xīn)启动设备，继续运转如需要较長(cháng)时间，则将设备保持原状。  

3、如果正在加热和冷却时，能(néng)够尽快恢复时，重新(xīn)启动设备，如果需要较長(cháng)时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。 

二、加热電(diàn)源掉電(diàn)  

1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。  

2、接地故障。  

3、真空放電(diàn)，水冷電(diàn)极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。  

4、若炉内压力為(wèi)13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放電(diàn))。電(diàn)源出现故障，掉電(diàn)的原因可(kě)以认為(wèi)由于電(diàn)介质击穿而引起的放電(diàn)。  

三、充气气體(tǐ)停止  

1、抽真空开始前，气體(tǐ)充入时间長(cháng)或者无法充入时，请确认气體(tǐ)管路是否被堵塞。  

2、如气體(tǐ)管路没问题，检查電(diàn)磁阀及气體(tǐ)充气阀的动作，為(wèi)了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

3、向真空室内充气不能(néng)停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气體(tǐ)供给阀及配管在内的所有(yǒu)气體(tǐ)系统。  

4、确认气體(tǐ)充气配管是否有(yǒu)漏气的地方，如有(yǒu)会影响制品质量。

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